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洁净棚的洁净度
洁净棚的洁
净
度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁理室系利用 HEPA 、 ULPA 过滤空气,其尘埃的收集率达 99.97~99.99995% 之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁理室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁理空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
风速的控制洁
净
棚内的气流是左右洁理室性能的重要因素,一般洁理室的气流速度是选 0.25~0.5m/s 之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁理度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁理度水准之时,能以*适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁理室洁理度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁理度事实上很困难。 垂直层流式方向要保持均一气流必须: (a) 吹出面的风速不可有速度上的差异; (b) 地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高 (0.2m/s , 0.7m/s) 均有涡流之现象发生,而 0.5m/s 之速度,气流则较均一,目前一般洁理室,其风速均取在 0.25~0.5m/s 之间。 影响因素 影响洁理棚的气流因素很多,如制程设备、人员、洁理室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁理室空间与隔墙板间距 2/3 之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁理室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁理度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少*低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器,高效过滤器过滤,过滤后的洁理空气在整个出风面以 0.45m/s ± 20% 的风速匀速送出到洁理棚内。形成均流层,使洁理空气气流呈垂直单向流,从而保证了工作区内所要求的洁理度。
洁净棚是能快速组建的简易洁理室 , 其具有安装快速、施工周期短、价格低廉、移动方便等特点,把主要生产工序控制在较小的环境内也是洁理室设计的*佳选择。
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