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深圳卓凯鑫浅谈:洁净技术的应用领域

洁净技术的环境控制能力是众多行业的需求,它能解决静电、噪音、洁净度、温湿度、通风、照明等环境问题。根据其功能可适用于电子工艺,化学工艺,食品生产,药品生产,医疗技术,生物实验室,物理实验室等工业需求。下面为大家浅谈洁净技术的应用领域,对工艺需求与洁净技术的应用进行了详细的介绍。

洁净技术的应用领域


洁净技术在世界各国的广泛应用已经经历了半个多世纪的发展,从**工业开始到电子工业,并逐步发展到其他行业,其应用范围越来越广泛,技术要求也越来越高,应用领域已涉及**、电子、食品、医药、卫生、生物实验等方面。


1.电子(微电子)工业


电子工业已从过去的电子管发展到半导体分离器件、集成电路乃至超大规模集成电路,因此也大大地促进了空气洁净技术的发展,实践证明,集成电路制造工艺中,集成度越高,图形尺寸越细,对洁净室控制的空气尘埃微粒粒径尺寸也越小,且空气中含尘量要求越低。表01为大规模集成电路的工艺发展状况。表0-2为超大规模集成电路的发展及相应控制微粒的粒径。


集成电路芯片的成品合格率与芯片的缺陷密度有关。而缺陷密度与空气中尘埃粒子个数有关。若假设芯片缺陷密度中有10%为空气中尘埃粒子沉降到硅片上引起的,则可以推算出每平方米芯片上空气尘埃粒子的*大允许值,如表0-3。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有更高的要求,而且对尘埃粒子的数量也有控制要求,即对生产环境的空气洁净度等级有控制要求。除此以外,集成电路生产环境对化学污染控制也有十分严格的要求,如表0-4所示。
 

0-1  大规模集成电路的工艺发展状况

      年份

工艺特征

1980

1984

1987

1990

1993

1996

1999

2004

硅片直径/mm

75

100

125

150

200

200

200

300

DRAM技术

64K

256K

1M

4K

16M

64M

256M

1G

特征尺寸/μm

2

1.5

1

0.8

0.5

0.35

0.25

0.20.1

工艺步数

100

150

200

300

400

500

600

700800

洁净度等级

1000-100

100

10

1

0.1 μm

0.1 μm

0.1 μm

0.1 μm

 

0-2  超大规模集成电路的发展及相应控制微粒的粒径

投产年度

项目

1997

1999

2001

2003

2006

2009

2012

集成度(DRAM)

256M

1G

1G

4G

16G

64G

256G

线宽/μm

0.25

0.18

0.15

0.13

0.10

0.07

0.05

控制粒子直径/μm

0.125

0.09

0.075

0.065

0.05

0.035

0.025

 

0-3  每平方米芯片上空气尘埃粒子的*大允许值

集成度

成品率Y(%)

64M

256M

1G

4G

16G

64G

90

55

38

25

16

11

8

80

124

84

56

37

24

7

70

195

132

控制粒子尺寸/μm

0.035

0.025

0.018

0.013

0.01

0.007

 

0-4  化学污染物控制指标

          年份

项目

1995

19971998

19992001

20032004

20062007

20092010

DRAM集成度

64M

256M

1G

4G

16G

64G

线宽/μm

0.35

0.25

0.18-0.15

0.13

0.10

0.07

硅片直径/μm

200

200

300

300

400450

400450

受控粒子尺寸/μm

0.12

0.08

0.06

0.04

0.03

0.02

粒子数(栅清洗)/(pc/m2)

1400

950

500

250

200

150

重金属(Fe)/(原子/cm2)

5×1010

2.5×1010

1×1010

5×109

2.5×109

2.5×109

有机物(C)/(原子/ cm2)

1×1014

5×1013

3×1013

1×1013

5×1012

3×1012

 

2.食品工业


食品工业的工艺主要有发酵、酿造、加工、灌封、包装等。在这些过程中,空气的洁净**是保证产品质量的关键之一。如灌封、包装过程中,如果包装容器**不彻底而带有**,那么食品的保质期必然缩短,严重时会影响食用者的身体健康。


实践证明,我们不仅要 重视对食品内容物和灌包装容器的**,而且不能轻视空气的污染。空气的污染一般来自两个方面,一是从室外进入室内的空气未经净化处理,带有大量微生物。另 一方面,在食品加工车间的地面、墙壁、顶棚上,因为沾有糖分、淀粉、蛋白质等粒子,当温度、湿度适宜时,**就会在这些表面繁殖,并随着空气流吹散到房间 的各个角落。因此食品生产工艺需要无菌操作。


食品生产的无菌操作不仅是对产品的防腐保质期限的影响,更重要的是空气洁净技术在食品生产中,尤其是在酿造、发酵中对酵母菌的纯种培育、分离、接种、扩种以及防止杂菌体的污染,提高产品质量保持食品在色、香、味、营养等方面有着重要的作用。


3.医疗


如前所述,在医院这个 特殊环境中,对空气环境进行控制是非常重要的。所谓的对空气环境控制包括两方面,其一是提高环境的舒适性。舒适的空调环境是**与康复的一个重要因素,在 某些情况下,甚至是主要的**方法。大量的医学临床研究证明,病人在适宜的空调环境中,通常比在非控制环境中体质的恢复更快。例如,相对干燥和适宜的空气 温度,可防止手术或外伤病人因皮肤出汗而感染伤口。另一方面,通过对空气环境的控制,可以防止病毒、**的传播,特别是某些特殊病房尤为重要,如手术室、 白血病**室、**病房、脏器移植病房等。


4. 生物实验


在遗传工程、病理检 验、细胞组织培养、疫苗培养等研究方面,常常需要在无菌无尘的环境中进行操作,一方面要求试件不受其他微生物的污染以保证实验的精度,另一方面要求所研究 的材料如病毒、高危险度病原菌、放射性物质不外溢,防止危害操作者的健康及污染环境。对于这类实验用洁净室,除一般洁净室所必须的设置要求外,还要求具有 两级隔离。**级通常是用生物**工作柜使工作人员与病原体等危险试件隔离;**级是将实验区与其他环境区隔离。同时实验室处于负压状态。


5. 实验动物饲养


为了临床试验的需要, 某些医院或科研单位往往设置一定规模的实验动物饲养房,饲养某些特定的实验动物,用于对使用于人体的医疗设备、手术方案、药品制剂等的试验,以监测其** 性。在实验动物中,控制微生物是特别重要的,也是借以研究其对人类生命健康影响的手段。如果实验动物感染了致病性微生物、病毒或寄生虫,就可能导致试验全 部失败。因此,对于影响实验动物饲养房的环境因素,诸如空气温度、湿度、气流速度、微生物和尘埃颗粒物等,须按照动物种类和设施环境要求予以控制。

 

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