洁净技术的环境控制能力是众多行业的需求,它能解决静电、噪音、洁净度、温湿度、通风、照明等环境问题。根据其功能可适用于电子工艺,化学工艺,食品生产,药品生产,医疗技术,生物实验室,物理实验室等工业需求。下面为大家浅谈洁净技术的应用领域,对工艺需求与洁净技术的应用进行了详细的介绍。
洁净技术的应用领域
洁净技术在世界各国的广泛应用已经经历了半个多世纪的发展,从**工业开始到电子工业,并逐步发展到其他行业,其应用范围越来越广泛,技术要求也越来越高,应用领域已涉及**、电子、食品、医药、卫生、生物实验等方面。
1.电子(微电子)工业
电子工业已从过去的电子管发展到半导体分离器件、集成电路乃至超大规模集成电路,因此也大大地促进了空气洁净技术的发展,实践证明,集成电路制造工艺中,集成度越高,图形尺寸越细,对洁净室控制的空气尘埃微粒粒径尺寸也越小,且空气中含尘量要求越低。表0—1为大规模集成电路的工艺发展状况。表0-2为超大规模集成电路的发展及相应控制微粒的粒径。
集成电路芯片的成品合格率与芯片的缺陷密度有关。而缺陷密度与空气中尘埃粒子个数有关。若假设芯片缺陷密度中有10%为空气中尘埃粒子沉降到硅片上引起的,则可以推算出每平方米芯片上空气尘埃粒子的*大允许值,如表0-3。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有更高的要求,而且对尘埃粒子的数量也有控制要求,即对生产环境的空气洁净度等级有控制要求。除此以外,集成电路生产环境对化学污染控制也有十分严格的要求,如表0-4所示。
表0-1 大规模集成电路的工艺发展状况
年份 工艺特征 | 1980 | 1984 | 1987 | 1990 | 1993 | 1996 | 1999 | 2004 |
硅片直径/mm | 75 | 100 | 125 | 150 | 200 | 200 | 200 | 300 |
DRAM技术 | 64K | 256K | 1M | 4K | 16M | 64M | 256M | 1G |
特征尺寸/μm | 2 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.35 | 0.25 | 0.2—0.1 |
工艺步数 | 100 | 150 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700—800 |
洁净度等级 | 1000-100 | 100 | 10 | 1 | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.1 μm |
表0-2 超大规模集成电路的发展及相应控制微粒的粒径
投产年度 项目 | 1997 | 1999 | 2001 | 2003 | 2006 | 2009 | 2012 |
集成度(DRAM) | 256M | 1G | 1G | 4G | 16G | 64G | 256G |
线宽/μm | 0.25 | 0.18 | 0.15 | 0.13 | 0.10 | 0.07 | 0.05 |
控制粒子直径/μm | 0.125 | 0.09 | 0.075 | 0.065 | 0.05 | 0.035 | 0.025 |
表0-3 每平方米芯片上空气尘埃粒子的*大允许值
集成度 成品率Y(%) | 64M | 256M | 1G | 4G | 16G | 64G |
90 | 55 | 38 | 25 | 16 | 11 | 8 |
80 | 124 | 84 | 56 | 37 | 24 | 7 |
70 | 195 | 132 | — | — | — | — |
控制粒子尺寸/μm | 0.035 | 0.025 | 0.018 | 0.013 | 0.01 | 0.007 |
表0-4 化学污染物控制指标
年份 项目 | 1995 | 1997—1998 | 1999—2001 | 2003—2004 | 2006—2007 | 2009—2010 |
DRAM集成度 | 64M | 256M | 1G | 4G | 16G | 64G |
线宽/μm | 0.35 | 0.25 | 0.18-0.15 | 0.13 | 0.10 | 0.07 |
硅片直径/μm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400—450 | 400—450 |
受控粒子尺寸/μm | 0.12 | 0.08 | 0.06 | 0.04 | 0.03 | 0.02 |
粒子数(栅清洗)/(pc/m2) | 1400 | 950 | 500 | 250 | 200 | 150 |
重金属(Fe)/(原子/cm2) | 5×1010 | 2.5×1010 | 1×1010 | 5×109 | 2.5×109 | <2.5×109 |
有机物(C)/(原子/ cm2) | 1×1014 | 5×1013 | 3×1013 | 1×1013 | 5×1012 | 3×1012 |
2.食品工业
食品工业的工艺主要有发酵、酿造、加工、灌封、包装等。在这些过程中,空气的洁净**是保证产品质量的关键之一。如灌封、包装过程中,如果包装容器**不彻底而带有**,那么食品的保质期必然缩短,严重时会影响食用者的身体健康。
实践证明,我们不仅要 重视对食品内容物和灌包装容器的**,而且不能轻视空气的污染。空气的污染一般来自两个方面,一是从室外进入室内的空气未经净化处理,带有大量微生物。另 一方面,在食品加工车间的地面、墙壁、顶棚上,因为沾有糖分、淀粉、蛋白质等粒子,当温度、湿度适宜时,**就会在这些表面繁殖,并随着空气流吹散到房间 的各个角落。因此食品生产工艺需要无菌操作。
食品生产的无菌操作不仅是对产品的防腐保质期限的影响,更重要的是空气洁净技术在食品生产中,尤其是在酿造、发酵中对酵母菌的纯种培育、分离、接种、扩种以及防止杂菌体的污染,提高产品质量保持食品在色、香、味、营养等方面有着重要的作用。
3.医疗
如前所述,在医院这个 特殊环境中,对空气环境进行控制是非常重要的。所谓的对空气环境控制包括两方面,其一是提高环境的舒适性。舒适的空调环境是**与康复的一个重要因素,在 某些情况下,甚至是主要的**方法。大量的医学临床研究证明,病人在适宜的空调环境中,通常比在非控制环境中体质的恢复更快。例如,相对干燥和适宜的空气 温度,可防止手术或外伤病人因皮肤出汗而感染伤口。另一方面,通过对空气环境的控制,可以防止病毒、**的传播,特别是某些特殊病房尤为重要,如手术室、 白血病**室、**病房、脏器移植病房等。
4. 生物实验
在遗传工程、病理检 验、细胞组织培养、疫苗培养等研究方面,常常需要在无菌无尘的环境中进行操作,一方面要求试件不受其他微生物的污染以保证实验的精度,另一方面要求所研究 的材料如病毒、高危险度病原菌、放射性物质不外溢,防止危害操作者的健康及污染环境。对于这类实验用洁净室,除一般洁净室所必须的设置要求外,还要求具有 两级隔离。**级通常是用生物**工作柜使工作人员与病原体等危险试件隔离;**级是将实验区与其他环境区隔离。同时实验室处于负压状态。
5. 实验动物饲养
为了临床试验的需要, 某些医院或科研单位往往设置一定规模的实验动物饲养房,饲养某些特定的实验动物,用于对使用于人体的医疗设备、手术方案、药品制剂等的试验,以监测其** 性。在实验动物中,控制微生物是特别重要的,也是借以研究其对人类生命健康影响的手段。如果实验动物感染了致病性微生物、病毒或寄生虫,就可能导致试验全 部失败。因此,对于影响实验动物饲养房的环境因素,诸如空气温度、湿度、气流速度、微生物和尘埃颗粒物等,须按照动物种类和设施环境要求予以控制。
深圳市卓凯鑫净化科技有限公司属华南地区*优良的无尘室整体工程承建商之一,是空气净化设备的重点生产厂家,主要经营产品:无尘车间改造,订做,风淋室,货淋通道,单人双吹风淋室,不锈钢传递窗,洁净室,百级洁净棚,FFU过滤机组,高效送风口,不锈钢工作台,洁净工作桌,防静电工作台,高效过滤器,百级净化工程免费设计,安装,调试,检测。可根据客户要求制作非标产品;欢迎来电咨询:
电话: 0755-29129981
手机: 13927449589 王生 Q Q:799310989
传真: 0755-29129986
http://www.szjhsb.net
地址:中国广东深圳市宝安区沙井万丰中路210号景业坊工业区C1栋
注:可根据客户要求制作非标产品;深圳卓凯鑫期待您的来电咨询。